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問答題
【簡(jiǎn)答題】說(shuō)明RCA清洗硅片的方法，SC-1和SC-2的配方特點(diǎn)
答案：
SC-1去除有機(jī)殘余物，金屬
SC-2去除堿金屬離子，氫氧根。
根據(jù)不同的應(yīng)...
SC-2去除堿金屬離子，氫氧根。
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問答題
【簡(jiǎn)答題】去離子水的規(guī)格，如何得到工藝用水
答案：
①反滲透（RO）和離子交換系統(tǒng) 去除離子（鹽分、礦物）
②固態(tài)雜質(zhì)（顆粒）通過(guò)沙石過(guò)濾器、泥土過(guò)濾器...
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