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問(wèn)答題
【論述題】
下圖為一個(gè)典型的離子注入系統(tǒng)。（1）給出1~6數(shù)字標(biāo)識(shí)部分的名稱，簡(jiǎn)述其作用。（2）闡述部件2的工作原理。
答案：
1.離子源2.分析磁塊3.加速器4.中性束閘5.x&y掃描板6.法拉第杯
1.離子源作用：產(chǎn)生注入用的離子原理...
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【論述題】
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答案：
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