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電子束加工是利用電能使電子加速轉(zhuǎn)換成動(dòng)能撞擊工件,又轉(zhuǎn)換成熱能來(lái)蝕除金屬的。
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電致伸縮微量進(jìn)給裝置的三大關(guān)鍵技術(shù)是電致伸縮傳感器、微量進(jìn)給裝置的機(jī)械結(jié)構(gòu)及其驅(qū)動(dòng)電源。
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實(shí)現(xiàn)超精密加工的關(guān)鍵是微量去除技術(shù)。
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