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問答題

【簡答題】例舉雙大馬士革金屬化過程的10個步驟。

答案：（1）SiO₂淀積：用PECVD淀積內(nèi)層氧化硅到希望的厚度。
（2）SiN刻蝕阻擋層淀積...

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答案：阻擋層金屬是淀積金屬或金屬塞，作用是阻止層上下的材料互相混合?？山邮艿淖钃鯇咏饘俚幕咎卣魇牵?br />①好的阻擋擴散...