A、光學膜厚儀控制 B、電子槍控制 C、晶振膜厚儀控制 D、電腦控制
A、1.5E-3Pa B、5.0E-3Pa C、2.0E-3Pa D、5.0E-5Pa
A、OPM B、EB C、MBP D、PFC