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【簡答題】列出硅片制造廠的6個主要生產(chǎn)區(qū),簡要說明各區(qū)的主要作用,并舉例至少一種各區(qū)的典型設(shè)備。
答案:
芯片制造廠可分成六個獨(dú)立的生產(chǎn)區(qū):擴(kuò)散、光刻、刻蝕、薄膜生長、離子注入和拋光。
擴(kuò)散區(qū):通常是進(jìn)行高溫工藝和薄...
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【簡答題】試給出CMOS IC芯片制造的4種基礎(chǔ)工藝,并說明每種工藝的主要作用。
答案:
薄膜制作(thin film/layer):形成不同材料構(gòu)成的工藝層。
光刻:是將電路圖形轉(zhuǎn)移到覆蓋...
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【簡答題】制造半導(dǎo)體器件的核心是什么?并說明半導(dǎo)體器件工藝的基本原理。
答案:
制造器件的核心則是形成PN結(jié);半導(dǎo)體工藝的基本原理:“摻雜”和“補(bǔ)償”。...
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