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吸附設(shè)置中逆放壓力低于0.002MPA時,程控閥打不開。目的是避免串壓,逆放初期壓力低于常壓,造成空氣倒吸,發(fā)生爆炸。
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真空度指標是-0.04~-0.08MPA。
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