超聲波發(fā)生器、超聲振動(dòng)系統(tǒng)、機(jī)床、磨料工作液及其循環(huán)系統(tǒng)。應(yīng)用型腔拋磨加工、超聲清洗、超聲波復(fù)合加工。
頻率超過16000HZ的聲波超聲波加工是利用工具端面作超聲振動(dòng)通過磨料懸浮液加工脆性材料的一種加工方法。