名詞解釋

表面改性技術(shù)

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LIGA技術(shù)工藝過程

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微細加工工藝方法

答案:

超微機械加工、光刻加工、體刻蝕加工、面刻蝕加工、LIGA技術(shù)、封接技術(shù)、分子裝配技術(shù)。

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