填空題

微細(xì)加工工藝方法主要有：（），光刻加工，體刻蝕加工技術(shù)，面刻蝕加工技術(shù)，LIGA技術(shù)，（）和（）。

答案： 三束加工技術(shù)；犧牲層技術(shù)；外延生長技術(shù)
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