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問答題

【簡答題】簡述正膠和負膠區(qū)別。

答案：

正膠：曝光的部分易溶解，占主導(dǎo)地位；
負膠：曝光的部分不易溶解。負膠的粘附性和抗刻蝕性能好，但分辨率低。

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【簡答題】簡述什么是光刻膠、光刻膠的用途、光刻對光刻膠的要求。

答案：光刻膠是一種有機化合物，它受紫外線曝光后在顯影液中的溶解度發(fā)生顯著變化，而未曝光的部分在顯影液中幾乎不溶解。
光...

【簡答題】簡述光刻工藝的8個基本步驟。

答案：

①氣相成底膜；
②旋轉(zhuǎn)涂膠；
③軟烘；
④對準和曝光；
⑤曝光后烘培（PEB）；
⑥顯影；
⑦堅膜烘培；
⑧顯影檢查。