問答題

【簡答題】簡述區(qū)熔法(FZ法)的特點與優(yōu)缺點。

答案:

區(qū)熔法(FZ法)的特點使用摻雜好的多晶硅棒;
優(yōu)點是純度高、含氧量低;
缺點是硅片直徑比直拉的小。

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②Wafer fabrication(硅...
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