問答題

【簡答題】簡述氣相外延生長（VPE，vapor phase epitoxy）的原理。

答案： 是讓生長原材料以氣體或電漿粒子的形式傳輸至芯片表面，這些粒子在失去部份的動能后被芯片表面晶格吸附 （Adsorb），通常...
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【簡答題】外延生長有哪些顯著優(yōu)點？
答案： （1）外延生長中，外延層中的雜質(zhì)濃度可以方便地通過控制反應(yīng)氣流中的雜質(zhì)含量加以調(diào)節(jié)，而不依賴于襯底中的雜質(zhì)種類與摻雜水平...
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【簡答題】什么是液相外延、氣相外延和分子束外延？
答案： （1）液相外延：采用從溶液中再結(jié)晶原理的外延生長方法稱液相外延；
（2）氣相外延：使化學(xué)氣體中半導(dǎo)體成分結(jié)晶在...
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