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使用三相五線制供電,其大地線可以作為防靜電地線。
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防靜電地線不得與防雷地線共用,可以接在電源零線上。
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對于IC生產(chǎn)車間,若人體帶靜電,則極易吸附塵埃、污物等,如果吸附的灰塵粒子的半徑大于100μm線條寬度約100μm時(shí),薄膜厚度在50μm下時(shí),則最易使產(chǎn)品報(bào)廢。
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