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指向角是表示指向性尖銳程度的角。
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探頭指向角是晶片尺寸和介質(zhì)中波長(zhǎng)的函數(shù)。它隨頻率增加、晶片直徑減小而增大。
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在近場(chǎng)區(qū)對(duì)缺陷定量,可以提高對(duì)缺陷定量的精度。
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