問答題

【簡答題】何為化學(xué)氣相沉積法？簡述其應(yīng)用及分類。

答案： 1）化學(xué)氣相沉積法（CVD）是指通過氣相化學(xué)反應(yīng)生成固態(tài)產(chǎn)物并沉積在固體表面的方法。
2）CVD法可用于制造覆...
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