同:在真空中進(jìn)行。 異:蒸發(fā)制膜是將材料加熱汽化。濺射制膜是用離子轟擊靶材,將其原子打出。
優(yōu)點(diǎn):生長(zhǎng)溫度低;晶體形狀可預(yù)先固定。 缺點(diǎn):難以控制成核以形成大晶粒。