名詞解釋

氧化還原反應(yīng)沉積

答案: 一些元素的氫化物有機(jī)烷基化合物常常是氣態(tài)的或者是易于揮發(fā)的液體或固體,便于使用在CVD技術(shù)中。如果同時通入氧氣,在反應(yīng)器...
題目列表

你可能感興趣的試題

名詞解釋

物理氣相沉積

答案: 以物理機(jī)制來進(jìn)行薄膜沉積而不涉及化學(xué)反應(yīng)的沉積技術(shù),所謂物理機(jī)制是物質(zhì)的相變化現(xiàn)象,如蒸鍍,蒸鍍源有固態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)濺鍍,...
名詞解釋

化學(xué)氣相沉積

答案: 是通過化學(xué)反應(yīng)的方式,利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源,在反應(yīng)器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化...
微信掃碼免費搜題