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問答題
【簡答題】簡述單晶體的基本性質(zhì)
答案：
（1）均勻性
（2）各向異性
（3）自限性
（4）對(duì)稱性
（5）最小內(nèi)能和最大穩(wěn)定性。
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問答題
【簡答題】影響化學(xué)氣相沉積制備材料質(zhì)量有哪幾個(gè)主要因素？
答案：
（1）反應(yīng)混合物。
（2）沉積溫度。
（3）襯底材料。
（4）系統(tǒng)內(nèi)總壓和氣體總流速。
（2）沉積溫度。
（3）襯底材料。
（4）系統(tǒng)內(nèi)總壓和氣體總流速。
問答題
【簡答題】簡述熱壁LCVD裝置
答案：
LPCVD反應(yīng)器本身是以退火后的石英所構(gòu)成，環(huán)繞石英制爐管外圍的是一組用來對(duì)爐管進(jìn)行加熱的裝置，因?yàn)榉譃槿齻€(gè)部分，所以稱...
