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填空題

離子束加工的物理基礎(chǔ)是離子束投射到工件表面時所產(chǎn)生的（）、（）和（）。

答案：撞擊效應(yīng)；濺射效應(yīng)；注入效應(yīng)

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離子束加工裝置與電子束加工裝置類似，不同的是用（）取代了（）。

答案：離子源；電子槍

電子束加工的裝置主要包括（）和（）、（）等。

答案：電子槍；真空系統(tǒng)；控制系統(tǒng)