判斷題

替位式擴(kuò)散就是替位雜質(zhì)和鄰近晶格位置上的原子互換。

答案：錯(cuò)誤

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雜質(zhì)在硅晶體中的擴(kuò)散機(jī)制主要有兩種：間隙式擴(kuò)散、替位式擴(kuò)散。其中間隙式擴(kuò)散比替位式擴(kuò)散困難。

答案：錯(cuò)誤

基區(qū)主擴(kuò)散屬于有限表面源擴(kuò)散。

答案：正確

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