填空題

特大規(guī)模集成電路（ULIC）對光刻的基本要求包括（）、（）、（）、（）、（）等五個方面。

答案： 高分辨率；高靈敏度的光刻膠；低缺陷；精密的套刻對準；對大尺寸硅片的加工
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填空題

硅氣相外延的硅源有（）、（）、（）、（）等。
答案： 四氯化硅（SiCl4）；三氯硅烷（SiHCl3）；二氯硅烷（SiH2Cl2）；硅烷（SiH4）
填空題

根據(jù)向襯底輸送原子的方式可以把外延分為：（）、（）、（）。
答案： 氣相外延；液相外延；固相外延
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