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填空題

硅平面工藝中高溫氧化生成的非本征無(wú)定性二氧化硅對(duì)（）、（）、砷（As）、銻（Sb）等元素具有（）作用。

答案：硼；磷；掩蔽

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熱氧化制備SiO₂的方法可分為四種，包括（）、（）、（）、（）。

答案：干氧氧化；水蒸汽氧化；濕氧氧化；氫氧合成氧化

常規(guī)的硅材料拋光方式有：（）拋光，（）拋光，（）拋光等。

答案：機(jī)械；化學(xué)；機(jī)械化學(xué)