特點(diǎn):液相是均勻的單相熔體,熔點(diǎn)以下不發(fā)生相變。 方法:提拉法,坩堝下降法,水平區(qū)熔法,浮區(qū)法,尖端形核法。
步驟如下: 1、氧化; 2、光刻; 3、浸蝕; 4、擴(kuò)散; 5、離子注入; 6、互連; 7、封裝; 8、裝配。