填空題

電子束曝光主要分為（）和（）兩類。

答案：掃描電子束曝光（電子束線曝光）；投影電子束曝光（電子束面曝光）

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在離子束加工中，離子束投射到材料表面產(chǎn)生的兩種效應(yīng)是（）和（）。

答案：濺射效應(yīng)；注入效應(yīng)

電解加工過(guò)程中常用的直流電源為（）和（）。

答案：硅整流電源；晶閘管整流電源