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LIGA技術(shù)使用的X光波長在()nm之間,可以得到大深寬比的精細(xì)結(jié)構(gòu)。
A.0.05~0.1
B.0.1~0.2
C.0.2~1
D.1~5
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光刻電鑄的最大加工厚度為()μm。
A.300
B.400
C.500
D.600
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單項(xiàng)選擇題
超精密加工技術(shù)通常是指被加工零件的尺寸精度低于()μm,表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技術(shù)。
A.0.01
B.0.1
C.1
D.10
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