問答題

【簡答題】討論CZ法中影響單晶縱向電阻率均勻性的因素及其控制辦法。

答案：

你可能感興趣的試題

【簡答題】簡述CZ法中雜質(zhì)摻入辦法及其選擇依據(jù)。

答案：

雙氣流MPVPE

答案：采用二組輸入反應(yīng)室的氣路進(jìn)行外延生長，一路為主氣路，沿與襯底平行方向輸入反應(yīng)氣體。另一路稱為副氣路，在垂直于襯底方向高速...

<strike id="1a611"><label id="1a611"></label></strike>